汕头声表面谐振器滤波器

SAW filter主要封装形式是金属封装、陶瓷封装，倒装焊封装和圆片级三维封装。倒装焊技术的引入，摒弃了传统点焊技术，降低了封装体总厚度，同时也使得整个封装过程从表面贴装器件（Surface Mounted Devices，SMD）进入芯片尺寸级封装（Chip Scale Package，CSP），主要封装流程是：在划片前先对器件焊盘上进行铜金属层和焊球的制作，然后划片倒装焊接到PCB基板或陶瓷基板上，并将树脂膜以热压方式压合到基板上，此时器件表面已形成包裹封装，划片将器件分离形成终产品。凸块是定向生长于芯片表面，与芯片焊盘直接相连或间接相连的具有金属导电特性的凸起物，由金凸块（Gold Bump）、焊球凸块（Solder Bump）和铜柱凸块（Pillar Bump）组成。金凸块由底部金属层（Under Bump Metallization，UBM）以及电镀金组成，加工价格昂贵，用于液晶屏驱动芯片或玻璃基板的电互连；铜柱凸块由电镀铜柱和焊球组成，可完全替代焊球凸块在倒装封装中使用，且铜具有良好的电、热学性能，可弥补焊球凸块在电学和热学性能上的问题。SAW 声表面波元件有性能稳定、尺寸小的特点，主要应用于无线设备。汕头声表面谐振器滤波器

目前，射频滤波器是射频前端领域中占比比较高的产品。伴随频段数的增多，滤波器价值在3G终端中占比33%提升到全网通LTE终端的57%。而到5G时代，滤波器应用量将进一步提升，并已经超越PA成为整个射频前端模块市场中重要的组成部分。射频滤波器可分为SAW和BAW滤波器两种。SAW滤波器是一种沿着固体表面传播声波，它是由压电材料和叉指换能器（Interdigitaltransducer，IDT）组成。IDT作为SAW滤波器的重要功能区，其主要作用在于能量转换，即在输入端将电信号转换成声波信号，在输出端将接收的声波信号转变成电信号输出。两种信号之间的转换依赖压电材料，其特性是受到外界压力时会发生变形，使晶体内部原子间的距离发生变化，打破了原来正负电荷平衡，使晶体表面产生电压。当晶体两端受到电压时，晶体也会产生形变。SAW滤波器常用压电材料有钽酸锂（LiTaO3）、铌酸锂（LiNaO3）、石英（SiO2）等。梅州声表面谐振器如何调节频率声表谐振器也就是声表面滤波器。

声表面滤波器是在一块具有压电效应的材料基片上蒸发一层金属膜，然后经光刻，在两端各形成一对叉指形电极组成。当在发射换能器上加上信号电压后，就在输入叉指电极间形成一个电场使压电材料发生机械振动（即超声波）以超声波的形式向左右两边传播，向边缘一侧的能量由吸声材料所吸收。在接收端，由接收换能器将机械振动再转化为电信号，并由叉指形电极输出。

表面波滤波器是以石英、铌酸锂或钎钛酸铅等压电晶体为基片，经表面抛光后在其上蒸发一层金属膜，通过光刻工艺制成两组具有能量转换功能的交叉指型的金属电极，分别称为输入叉指换能器和输出叉指换能器。当输入叉指换能器 接上交流电压信号时，压电晶体基片的表面就产生振动，并激发出与外加信号同频率的声波，此声波主要沿着基片的表面的与叉指电极升起的方向传播，故称为声表面滤波，其中一个方向的声波被除数吸声材料吸收，别一方向的声波则传送到输出叉指换能器，被转换为电信号输出。声表面波滤波器具有工作频率高、通频带宽、选频特性好、体积小和重量轻等特点，并且可采用与集成电路相同的生产工艺，制造简单，成本低，频率特性的一致性好，因此广泛应用于 各种电子设备中。

声表面波器件通常简称SAW（Surface Acoustic Wave），声表面器件在频率元器件分为两种：声表面波谐振器（SAW resonator）和声表面滤波器（SAW Filter），其原理是基于一种用石英、铌酸锂或钎钛酸铅等压电晶体为基片，在其表面抛光后在上面蒸发一层金属膜，通过光刻工艺制成两组具有能量转换功能的交叉指型的金属电极。分别称为输入叉指换能器和输出叉指换能器。当输入叉指换能器接上交流电压信号时，压电晶体基片的表面就产生振动，并激发出与外加信号同频率的声波，此声波主要沿着基片的表面的与叉指电极升起的方向传播，故称为声表面滤波，其中一个方向的声波被除数吸声材料吸收，另一方向的声波则传送到输出叉指换能器，被转换为电信号输出。声表谐振器是一种性质相当独特的机械波。

声表面波器件一般使用压电晶体 (例如石英晶体等 )作为媒介，然后通过外加一正电压产生声波，并通过衬底进行传播，然后转换成电信号输出。声表面波传感器中起主导作用的主要是压电效应，其设计时需要考虑多种因素：如相对尺寸、敏感性 、效率等。 一般地，无线无源声表面波传感器的信号频率范围从40MHz 到几个GHz。 图2 所示为声表面波传感器常见的结构，主要部分包括压电衬底、天线、敏感薄膜 、IDT等 。 传感器的敏感层通过改变声表面波的速度来实现频率的变化。声表面谐振器的主要特点是设计灵活性大。广东声表面谐振器343

现已制造出1.5GHzPDC用射频声表面谐振器，其插入损耗只有1.2dB。汕头声表面谐振器滤波器

滤波器根据实现方式的不同可以分为LC滤波器、腔体滤波器、声学滤波器、介质滤波器等。不同滤波器适用于不同的应用场景，在手机无线通信应用中，由于设备尺寸较小、功率较低，因此目前智能手机使用小体积高性能的声学滤波器，根据结构不同可以分为声表面波（SAW）滤波器和体声波（BAW）滤波器。SAW滤波器的基本原理为在输入端由压电效应把无线信号转换为声信号在介质表面传播，在输出端由逆压电效应将声信号转换为无线信号。一个基本的SAW滤波器由压电材料和两个叉指式换能器（IDT，InterdigitalTransducer）组成，输入端的IDT将电信号转换成声波，且该声波在SAW滤波器基板表面以驻波形式横向传播，输出端的IDT接收到的声波转换成电信号输出，从而实现滤波。汕头声表面谐振器滤波器

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